中國科大SEM5000X順利通過(guò)驗收，繼續免費試運行

更新時(shí)間：2024-12-24 點(diǎn)擊次數：681

*本文轉載自中國科大理化科學(xué)實(shí)驗中心微信公眾號

（原標題：中心首臺國產(chǎn)高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡順利通過(guò)驗收）

近日，中國科大理化科學(xué)實(shí)驗中心電鏡影像平臺購置的國儀量子超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X在中心調試完畢，各項指標符合要求，順利通過(guò)專(zhuān)家組聯(lián)合驗收。該設備于11月22日投入試運行，試運行期間校內用戶(hù)免費。

驗收結束后，國儀量子代表正式遞交售后服務(wù)承諾書(shū)。

儀器位于中國科大中區理化科學(xué)實(shí)驗中心一樓128房間，有需要的用戶(hù)可登中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)理化實(shí)驗中心網(wǎng)站進(jìn)行預約。

中國科大SEM5000X順利通過(guò)驗收，繼續免費試運行

國儀量子原位高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

SEM5000X為國儀量子技術(shù)（合肥）股份有限公司自主研制的超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，該設備具有穩定的電子光學(xué)系統，通過(guò)電子光學(xué)鏡筒設計優(yōu)化，綜合像差大大降低，實(shí)現了超高分辨率。擁有鏡筒內高壓隧道模式，可在低壓下直接對高低起伏的不導電樣品進(jìn)行高分辨成像。以其超高分辨率和高穩定性，可在先進(jìn)納米結構和納米材料的研究、高端芯片半導體的研發(fā)制造等領(lǐng)域發(fā)揮其性能優(yōu)勢，可觀(guān)察物體二次電子像、成分襯度像、電子通道襯度像，同時(shí)可進(jìn)行X射線(xiàn)能譜分析、電子背散射衍射分析、原位微納米力學(xué)性能測試。配備了空氣敏感樣品轉移系統，可對空氣敏感樣品進(jìn)行形貌、EDS及EBSD表征。

主要參數

二次電子圖像分辨率：0.6 nm @ 15 KV ，1.0 nm @ 1 KV
放大倍數：1x～2,500,000x
加速電壓：20V～30 kV
能譜儀（牛津AZtecLive UltimMax100 X）：分辨率（MnKa）127 eV，分析元素范圍：Be4 ～ Cf98
電子背散射衍射儀（牛津Symmetry S3）: 高速低噪音CMOS相機，分辨率1244*1024;在線(xiàn)解析最高標定速度5700點(diǎn)/秒, 取向精度0.01度
原位納米壓痕系統（牛津FT-NMT04）: 20mN力傳感器,載荷分辨率: ≤50 nN （噪音值）；最大壓痕深度25μm,位移分辨率: ≤0.05 nm（噪音值）；最大納米壓痕點(diǎn)陣測量面積：10mm x 10mm；最大疲勞測試頻率：500Hz

應用案例

形貌像：

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空氣敏感樣品轉移系統：純Li氣氛保護前后樣品形貌：

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低活化鐵素體/馬氏體鋼晶粒取向圖：

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單晶Si微柱壓縮動(dòng)畫(huà)：

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