國儀量子聯(lián)合中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)微納中心，自主研制原位加熱芯片解決方案，通過(guò)MEMS加熱芯片與雙束電鏡的深度融合，實(shí)現樣品在室溫至1100℃范圍內的精準控溫與微觀(guān)動(dòng)態(tài)分析，為高溫環(huán)境下材料行為研究提供全新工具。

該方案采用國儀自研雙束電鏡與專(zhuān)用MEMS加熱芯片，控溫精度優(yōu)于0.1℃，測溫分辨率優(yōu)于0.1℃，同時(shí)具備溫度均勻性好、紅外輻射少等優(yōu)勢，有效保障高溫下的分析穩定性。系統支持在加熱過(guò)程中同步開(kāi)展微區形貌觀(guān)測、EBSD晶體取向分析、EDS成分檢測等多項表征，全面揭示材料在熱場(chǎng)作用下的相變、應力演化與成分遷移規律。

該聯(lián)用方案無(wú)需破真空，既可滿(mǎn)足制樣+表征(原位微區EBSD)的全流程使用需求。